作者：宋萍,李科杰,石庚辰,卢四华 单位：西安机电信息研究所;机电工程与控制国家级重点实验室;中国兵工学会 出版：《探测与控制学报》2002年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDYX2002040030 DOC编号：DOCXDYX2002040039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法》PDF+DOC1995年第01期 费龙,钟先信,温志渝,刘桂雄,高扬 《硅微加速度传感器的现状及研究方向》PDF+DOC1995年第05期 费龙,钟先信,温志渝,高扬 《压阻式新型矢量水听器设计》PDF+DOC2006年第05期 陈丽洁,杨士莪 《硅微加速度传感器的对称梁岛结构设计》PDF+DOC2003年第01期 陈光焱,苏伟,何晓平 《MEMS压阻式加速度传感器的研究进展》PDF+DOC2008年第04期 范树新,耿振亚,聂丽梅 《利用阵列传感系统降低硅微机械加速度传感器的横向灵敏度》PDF+DOC1995年第04期 费龙,钟先信,温志渝,高杨 《MEMS高g加速度传感器高过载能力的优化研究》PDF+DOC2011年第07期 石云波,李平,朱正强,刘俊,张晓明 《叉指电容式汽车安全气囊硅微加速度传感器的设计和分析》PDF+DOC2010年第20期 南昊,田露 《一种压阻式三轴加速度传感器的设计》PDF+DOC2006年第05期 孙剑,赵玉龙,苑国英,蒋庄德,徐敬波 《引信用MEMS加速度传感器敏感元件的设计》PDF+DOC2006年第07期 石云波,祁晓瑾,刘俊

    • 介绍了几种高 g值 MEMS加速度传感器敏感元件的结构和原理 ，并对其结构特性进行了分析 ，最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。

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