《微角速度传感器在不同气压下的振动特性》PDF+DOC
作者:陈志勇,高钟毓,张嵘
单位:清华大学
出版:《清华大学学报(自然科学版)》2002年第06期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFQHXB2002060230
DOC编号:DOCQHXB2002060239
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研究振动轮式微机械角速度传感器在 4Pa到10 0 k Pa 气压范围内的振动特性。被测传感器的直径为1.3m m,厚度约 30 μm。用电容检测技术测量其振动信号 ,以获得传感器幅频、相频特性。试验得到了传感器两个振动模态的品质因数与气压的关系曲线 ,发现了传感器的非线性振动和模态耦合现象。弹簧的非线性弹性引起了非线性振动 ,振动方向不正交及电信号耦合导致了振动耦合现象。试验结果表明驱动梁为曲梁的传感器与直梁传感器相比 ,驱动轴非线性振动特性大大降低
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