作者:陈志勇,高钟毓,张嵘 单位:清华大学 出版:《清华大学学报(自然科学版)》2002年第06期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFQHXB2002060230 DOC编号:DOCQHXB2002060239 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 研究振动轮式微机械角速度传感器在 4Pa到10 0 k Pa 气压范围内的振动特性。被测传感器的直径为1.3m m,厚度约 30 μm。用电容检测技术测量其振动信号 ,以获得传感器幅频、相频特性。试验得到了传感器两个振动模态的品质因数与气压的关系曲线 ,发现了传感器的非线性振动和模态耦合现象。弹簧的非线性弹性引起了非线性振动 ,振动方向不正交及电信号耦合导致了振动耦合现象。试验结果表明驱动梁为曲梁的传感器与直梁传感器相比 ,驱动轴非线性振动特性大大降低

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。