作者：赵志诚 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2002年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2002090000 DOC编号：DOCYBJS2002090009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微机电压力传感器在国外早已实现产业化。国内只有少数企业能够进行小批量生产。工业用的产品大部分依靠进口 ，或者引进国外芯片和敏感元件进行组装。本文叙述了在微机电压力传感器产业化方面存在的技术和工艺问题 ，并对产业规模问题进行了探讨。

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