作者：付盛荣,熊斌,车录锋,王跃林 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2003年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2003040110 DOC编号：DOCGNCQ2003040119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响。在0.01-200&#176；/s的动态范围内，按照设计值，陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01&#176；/s的输入角速度变化。考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后，当输入角速度大于10&#176；/s时，整个系统即无法分辨0.01&#176；/s的输入角速度变化。针对这种情况，提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题。

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