《光学式非接触厚度-微位移测量仪的研制》PDF+DOC
作者:陈阳,王慕坤
单位:哈尔滨理工大学
出版:《哈尔滨理工大学学报》2003年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHLGX2003030250
DOC编号:DOCHLGX2003030259
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在激光三角测量法原理基础上,应用光学系统成像技术,利用光电位置传感器PSD获得象点移动量,并根据象点移动量建立与被测物厚度—微位移变化之间的数学模型,通过象点位置变化的计算,研制了光学或非接触厚度—微位移测量仪。实现了被测物厚度—微位移变化量的测量。该测量仪的量程为1000μm,分辨力小于0.2μm。
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