《表面平整度测量的新方法研究》PDF+DOC
作者：孙艳,王昭,谭玉山
单位：西安交通大学
出版：《西安交通大学学报》2003年第03期
页数：4页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFXAJT2003030280
DOC编号：DOCXAJT2003030289
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介绍了用反射干涉频谱法测量透明或半透明薄膜表面平整度的方法 ，薄膜厚度的测量范围约在 0 2～ 2 0 μm(小于 2 0μm)之间 .在对二氧化硅薄膜的测试中 ，该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相比较 ，其纵向测量误差小于 2nm .通过光纤传感器在薄膜上的移动 ，对薄膜上各点的反射光谱进行分析 ，得到各点的厚度 .通过步进电机的移动 ，连续测量膜上不同点的厚度 ，从而获得薄膜的表面形貌 .该方法对薄膜无破坏作用 ，且无需测量干涉条纹 ，与其他的非接触式测试方法相比较 ，具有无横向测试范围限制、测试系统结构简单、测试精度高、测试结果可靠的特点 ，因此有较强的实用性
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