作者：马晓翠,阎大卫,赵永生 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》2003年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX2003020020 DOC编号：DOCZKKX2003020029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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