《应变式钢杯压力传感器的多层介质膜研究》PDF+DOC
作者:穆长生,张辉军,温殿忠
单位:黑龙江大学
出版:《黑龙江大学自然科学学报》2002年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHLDZ2002020180
DOC编号:DOCHLDZ2002020189
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在应变传感器的使用过程中,通常是将应变片用胶粘到待测的传感元件上,这种结构导致被测的应变片产生温度漂移。同时,胶膜引起的蠕变和滞后,也限制了传感器的准确度和长期稳定性。开发良好的铂薄膜电阻应变式钢杯压力传感器的研究具有重要意义。通过多层介质膜解决金属薄膜衬底和铂薄膜电阻间的隔离层问题,提高了应变式钢杯压力传感器的力学特性和长期稳定性。
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