作者：刘华瑞,任天令,曲炳郡,刘理天,库万军,李伟,杨芝茵 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2003年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2003040080 DOC编号：DOCGNCQ2003040089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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