作者：张毅,王万录,廖克俊,王永田,吴子华 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2003年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2003030080 DOC编号：DOCWXJS2003030089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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