作者:付小芳,罗正全,马平,刘业异 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2003年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2003010110 DOC编号:DOCBDTQ2003010119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 介绍了生物芯片、激光共聚焦生物芯片扫描仪的概念以及高精度快速扫描台的意义,主要介绍对扫描台的运动进行闭环控制的原理和以DSP作为处理器实现这一控制系统的软硬件设计结果。

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