作者：马晓翠,阎大卫,肖智博 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2003年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2003060020 DOC编号：DOCCGQJ2003060029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 通过直流溅射Au对PCVD方法制备的SnO2/Fe2O3双层薄膜的SnO2表面进行了修饰，并对修饰后的Au SnO2/Fe2O3薄膜的气敏特性进行了观测。结果表明，Au的催化作用使Au SnO2/Fe2O3薄膜气敏器件对CO，H2，C2H5OH等气体的灵敏度增大2～3倍，相应于最大灵敏度的工作温度均降低约60℃。这显示直流溅射Au是改善SnO2/Fe2O3双层薄膜气敏性能的一种有效手段。

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