作者： 单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《激光与光电子学进展》2003年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJGDJ2003010010 DOC编号：DOCJGDJ2003010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 对微光机电系统(MOEMS)兴趣的惊人增长吸引了包括众多研发中心和工业企业的投入。大量的MOEMS应用领域为之发展提供巨大机遇，如光通信(光开关，交叉连接矩阵，DWDM系统等)、数字图像处理、自适应光学以及工业维护、环保、生物医疗等等。本文简述MEMS(微机电系统)和MOEMS的概念后，着重介绍MOEMS的应用领域和几种典型器件。采用MEMS工艺技术制备出诸如DWDM通信系统用的可调谐F-P干涉仪或用于障碍物探测的二维扫描器等器件。已开发出多种专用技术，制备成功应用于障碍物检测的二氧化硅一维扫描器件。另外，一些器件是微机械与集成光学相结合的MOEMS：例如通信系统中作为网络保护和重组应用的微光开关，用作电动机转动机械部件检测的微振动传感器等。

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