作者：李颖,张治国,刘剑,张哲,张娜,郑东明,梁峭,祝永锋 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2015年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2015060050 DOC编号：DOCYBJS2015060059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种提高硅电容压力传感器过载回零响应速度的方法，通过在传感器硅可动极板上设计、制作快速导油微结构，实现了传感器过载回零响应速度的大幅度提升，解决了传感器设计中一项关键技术难题，使硅电容压力传感器真正达到了实用化程度，满足了工业现场的实际使用要求。

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