作者：高晓丁,许卫星,胥光申 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2002年第07期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2002070060 DOC编号：DOCCGQJ2002070069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种特殊结构的电容式力传感器。从结构设计、工作原理、电路设计对该电容式力传感器进行了分析、论述。并且提供了相应的实验数据。传感器非线性误差小于 1%。

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