作者：王小伟,钟少龙,徐静,吴亚明 单位：天津理工大学 出版：《光电子·激光》2015年第03期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDZJ2015030020 DOC编号：DOCGDZJ2015030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平轴光纤加速度传感器，并与Z轴光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上制造，形成单一方向出纤的三轴光纤加速度传感器。分析了器件工作原理和器件结构参数与其性能的关系，利用MEMS技术成功制作出了加速度传感器样品。初步测试结果表明，本光纤加速度传感器灵敏度为164mV/g，3dB带宽的截止频率为1 600Hz。

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