作者：高杨,何婉婧,李君儒,黄振华,蔡洵 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2015年第02期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2015020010 DOC编号：DOCYDSG2015020019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 薄膜体声波谐振器(FBAR)具有高灵敏度、高工作频率，低功耗，小尺寸及制造工艺IC兼容的特点，使其成为高效能换能器和传感器的理想技术。基于FBAR的传感器，如高灵敏度质量传感器、DNA和蛋白质探测器、气体传感器、水银离子探测器和微区质量探测器，与采用其他微电子机械系统的同类传感器相比，已取得了更好的传感性能。该文综述了FBAR传感器的进展，特别是FBAR高灵敏度传感器、FBAR谐振式传感器及其高频读出电路；提出了采用六端口反射计实现FBAR换能器的射频频率偏移信号读出、基于单片微波集成电路或低温共烧陶瓷工艺制备的六端口网络构建集成FBAR传感器的原创设想。

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