作者:李维清,陈志勇,王兴华 单位:西安微电机研究所 出版:《微电机》2003年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFWDJZ2003010020 DOC编号:DOCWDJZ2003010029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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