作者：王宏伟,朱嘉林,张伟,张福学 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003Z10840 DOC编号：DOCBDTQ2003Z10849 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出一种“旋转载体用硅微机械陀螺” ，给出了该陀螺敏感头的结构尺寸 ，对陀螺角振动方程中出现的转动惯量、弹性支撑梁的扭转刚度系数和角振动阻尼系数分别进行了解析近似计算 ，得到了角振动幅度与被测角速率的关系曲线。用ANSYS仿真分析软件对陀螺结构进行模态分析和谐响应分析 ，比较计算机模拟和解析近似计算结果 ，它们相差不大 ，从而使两种处理方法相互得以验证

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