《微系统进展与我院微系统发展战略思考》PDF+DOC

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2. 《微系统及其商品化》PDF+DOC 讨论了微系统的命名法并把它扩至包括自然微系统。以物理法则是否变化为判据重新定义了微系统。阐明了微系统与微电子、宏系统、纳米系统三者的联系与区别。考察了国外微系统在领域医疗、信息、汽车工程、自动化、环境与安全、日常生活 6个领域的典型商品 ，分析了国际微系统商品化态势 ，找出了商品化中的技术制高点和突......
3. 《一种多功能微型电子机械系统》PDF+DOC 一种多功能微型电子机械系统谢国章一、引言微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）是德国学者于８０年代末提出的概念，意指由微机械与微电子集成所构成的微型结构，具有小型、可靠、性能优越、生产成本低等优点，既有微电子的处理功能，又有微机械的传感与执行功能，是一全智能系..。...
4. 《微机械的市场调研》PDF+DOC 目前，微机械作为一项新工艺，还是处在开始发展的阶段，它将在本世纪对世界科技的发展产生重大的影响。现在，利用这项技术，以硅作为基质可制成简单的微型结构和多种传感器(例如，压力传感器，加速度传感器等)以及其它的致动器。并可以集成到微系统中。已有几种产品投入市场，并有...
5. 《微电子机械系统的研究现状》PDF+DOC 在同一介质上，应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件，微传感器，微传动装置并将它们与微电子线路在一起形成高性能的闭环控制的微电子机械系统是一门新兴的边缘学科，也开辟了一个全新的工业加工领域，本文简述了微电子机械系统的研究现状及其基础技术。...
6. 《微系统技术（连载一）─—微系统技术概况》PDF+DOC 简要介绍微系统的含义，主要工艺、发展历史、现状和发展前景。...
7. 《决定未来竞争的关键技术——微系统技术》PDF+DOC 微系统技术是当今国际上能决定未来竞争的一种超智能崭新技术，自德国首次提出至今还不到8年。然而它都以自身卓绝的功能和飞快的发展速度向人们展示了强大的生命力和可能引发一场新科技革命的无限前景。作者从事微电子工作40多年，阅历丰富，洞察力敏锐。在此刊载他这篇文章，以利引起有关领导和科技界重视，更快赶上世界......
8. 《集成微系统技术及产业发展研究》PDF+DOC 微系统研究始于军事领域，在其早期是指“微机电系统”(MEMS)。微机电系统随着集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展。随着技术的不断进步，微机电系统已更多地集成了生物、光学、计算、软件等多种技术或元件，并朝着具有感知、处理、控制、通信、致动等功能的智能化集成微系统发展。以MEMS为主流......
9. 《微系统集成技术研究的动向》PDF+DOC 在微电子、微机械和微光学的基础上，集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术，是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。...
10. 《MEMS技术及应用》PDF+DOC 综述了制备 MEMS的几个重要步骤 ，即设计、材料选择、加工、封装以及测试 ，总结了MEMS研究及应用的最新进展 。...