作者：钟莹,张国雄,李醒飞 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2003年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2003010100 DOC编号：DOCNMJM2003010109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 制作出一种新型结构的谐振式硅微加速度计，其输出频率信号可以克服微机电系统器件输出微弱信号检测的困难.采用双端固定音叉作为谐振器，在加速度作用下，质量块的惯性力通过悬臂梁施加于音叉轴向，利用音叉谐振频率的变化测量加速度.在每个音叉臂上制作了梳齿结构，用梳齿间的静电力激励音叉产生谐振，并利用其构成的电容检测其振动频率.该加速度计采用体硅工艺制作，文中给出了工艺流程.用有限元方法仿真估算，得到传感器的灵敏度约为2/g Hz。

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