作者：朱健 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2003年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2003010090 DOC编号：DOCBDTJ2003010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 主要介绍了MEMS技术的背景、分类、应用、发展趋势。

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