作者：刘军营,楮金奎,朱向荣,韩光平 单位：山东理工大学 出版：《山东理工大学学报(自然科学版)》2003年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSDGC2003010240 DOC编号：DOCSDGC2003010249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC1997年第03期 刘靖,石庚辰 《微电子机械系统技术应用研究》PDF+DOC2003年第07期 闫利文 《传感技术的研究现状》PDF+DOC1996年第01期 罗子铉 《微机电系统的研究与分析》PDF+DOC2004年第01期 沈桂芬,张宏庆,韩宇,范军,付世,丁德宏,姚朋军 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC2003年第04期 朱长纯,韩建强,刘君华 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC2003年第09期 李国厚,白林峰 《微机电系统技术进展》PDF+DOC2003年第05期 张西慧,梁春广 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2007年第01期 刘成刚 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC2007年第03期 侯亚丽,李长河,蔡光起 《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润

    • 始于 2 0世纪 60年代的微机电系统 (MEMS)是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域 ，是 2 1世纪的核心技术之一 .介绍了MEMS的形成、发展、基本研究内容、流行设计分析软件和主要制造工艺应用及微器件、微系统的种类和应用现状

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