作者：王艳华,马海阳,孙道恒 单位：中国华晶电子集团公司 出版：《微电子技术》2003年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWDJS2003050150 DOC编号：DOCWDJS2003050159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅尖的制备及在传感器技术中的应用》PDF+DOC2003年第06期 王艳华,王明亮,孙道恒,马海阳 《微机电系统的研究与分析》PDF+DOC2004年第01期 沈桂芬,张宏庆,韩宇,范军,付世,丁德宏,姚朋军 《基于准分子激光微加工光纤F-P腔的压力传感器》PDF+DOC2019年第09期 吕艳华,商娅娜,刘奂奂,庞拂飞 《一种雷达微带天线单元的工艺实现》PDF+DOC2000年第04期 解启林 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC1999年第01期 徐毓龙,徐玉成 《多晶硅集成微系统:技术及应用》PDF+DOC1999年第11期 贾宏光 《一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化》PDF+DOC2003年第Z1期 黄树森,郭南翔,黄晖,宋朝辉,李欣昕,王跃林 《基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作》PDF+DOC2012年第02期 马志波,姜澄宇,任森,苑伟政 《探测空间原子氧环境的锇膜电阻传感器技术研究》PDF+DOC2009年第S1期 刘向鹏,童靖宇,贾铮,姜利祥,李涛 《微型线圈-铁芯结构传感器中聚酰亚胺的低成本刻蚀和平坦化方法》PDF+DOC2013年第10期 郭博,刘诗斌,段红亮,杨尚林,侯晓伟

    • 本文介绍了硅尖的制备及其在不同领域的应用。硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖 ，故比其它材料微尖更实用。硅尖的应用随着制备工艺的改进与其它相关技术的进步必将得到新的开发

    📙 相关资料

    1. 《硅尖的制备及在传感器技术中的应用》PDF+DOC 介绍了硅尖的制备及其在传感器技术中的应用。硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖，故比其它材料微尖更实用。硅尖的应用随着制备工艺的改进与其它相关技术的进步必将得到新的开发。...
    2. 《微机电系统的研究与分析》PDF+DOC 详细介绍了微机械电子系统的内涵。内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域 .还介绍了微机械电子系统加工工艺 ，阐明了其涉及的科学技术问题 ，对信息MEMS用途及发展趋势做了较详尽的讨论。...
    3. 《基于准分子激光微加工光纤F-P腔的压力传感器》PDF+DOC 为了实现薄膜厚度的精确控制从而提高传感器灵敏度，设计了一种基于准分子激光微加工光纤法布里-珀罗(F-P)腔的压力传感器，该F-P腔传感器是在光纤陶瓷插芯的端面上集成刻蚀的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜而构成。通过准分子激光对PET膜的刻蚀，精确地控制F-P腔的深度与面积。该传感器在0～1070 P......
    4. 《一种雷达微带天线单元的工艺实现》PDF+DOC 提出了一种用于雷达的微带天线单元的工艺设计及其实现。使用铜箔厚度为18μmm的衬铝板，通过工艺线宽设计，合理选择工艺参数，使用湿法刻蚀，抵消了侧腐蚀的影响，成功地制造出了面积为330mm&#215；330mm的微带天线单元，其精度为+0.01～-0.03mm，满足了具体雷达的电讯设计要求。...
    5. 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC 简要介绍微机电系统在各个领域的应用。...
    6. 《多晶硅集成微系统:技术及应用》PDF+DOC 多晶硅微结构与CMOS电路制造工艺的结合能够制造出单片集成惯性传感器。LPCVD多晶硅的沉积、掺杂、退火同其机械特性，如残余应力、应力梯度、杨氏模量之间可以很好地建立其相关性。最近的工作表明为减少静摩擦力而进行的表面钝屯化能够减小多晶硅微结构在湿法刻蚀干燥过程或使用时由于机械振动而粘接在邻近表面或残......
    7. 《一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化》PDF+DOC 给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理。该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率。基于分析模型 ，本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则。采用SOI硅片和深反应离子刻蚀 (DRIE)工艺给出了传感器的制造和测试结果...
    8. 《基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作》PDF+DOC 采用SOI硅片，基于MEMS技术，设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器，根据传感器敏感单元的结构设计，制定了相应的制备工艺步骤，并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题，提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺，实验表明，在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 ......
    9. 《探测空间原子氧环境的锇膜电阻传感器技术研究》PDF+DOC 原子氧密度传感器可以测量原子氧的通量密度和积分通量。锇膜电阻是一种小型的、价格低廉的测量轨道原子氧束流密度的传感器，由于尺寸小、重量轻使其可以用在大部分航天器上，增加了飞行的机会。文章对北京卫星环境研究所采用电镀法及紫外线光刻和金属刻蚀微加工技术制备锇膜电阻的研究情况进行了介绍。...
    10. 《微型线圈-铁芯结构传感器中聚酰亚胺的低成本刻蚀和平坦化方法》PDF+DOC 研究了预亚胺化温度、时间以及刻蚀时间对聚酰亚胺湿法刻蚀结果的影响。预亚胺化后2.5μm厚的PI-5型聚酰亚胺采用EPG 533型光刻胶作为掩膜时，预亚胺化采用90℃/5 min~140℃/10 min方案，采用1%KOH溶液，15 s的显影/刻蚀时间会得到较好的刻蚀结果。在此基础上，通过实验研究了一......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。