作者：MEMS重大专项总体组 单位：863机器人技术主题专家组;北方科技信息研究所 出版：《机器人技术与应用》2003年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJIQI2003020030 DOC编号：DOCJIQI2003020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统 (MEMS)是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿高技术 ，具有多样性、边缘性和综合性的特点 ，在信息、环境检测、生化分析、自动控制、航空航天和国防等领域有着极为广阔的应用前景。同时MEMS技术又是一种使能技术 (enablingtechnology) ，MEMS只有在制成装置或在系统中应用后 ，才能真正体现它的高附加效益并形成现实市场 ，MEMS技术的进步为相关行业实现跨越式发展提供了机遇。“十五”863计划MEMS重大专项的实施 ，将会造就一批高水平的人才队伍 ；逐步建立起中国自己的研发体系 ；拥有自主知识产权的MEMS技术平台 ，为“十一五”产业化的形成奠定良好的基础

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