作者：涂苏龙,黄新波 单位：青岛理工大学 出版：《青岛理工大学学报》2003年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQDJG2003030180 DOC编号：DOCQDJG2003030189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 综述了制备 MEMS的几个重要步骤 ，即设计、材料选择、加工、封装以及测试 ，总结了MEMS研究及应用的最新进展 。

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