《二维PSD器件在两平面(二维)平行度测量中的应用》PDF+DOC
作者:高经伍,赵凤华,陈立军
单位:哈尔滨煤矿机械研究所
出版:《煤矿机械》2003年第10期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFMKJX2003100230
DOC编号:DOCMKJX2003100239
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,赵凤华
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介绍日本20世纪80年代的新产品二维PSD器件“光位敏器”(Position Sensitive Detec-tors)以及LD“半导体激光器”(Semiconductor Laser Detectors),对二维PSD的工作原理进行了分析,讨论了由二维PSD和LD组成的“光-位置传感器”在两平面(二维)平行度测量的可行性,并对由二维PSD-LD组成的“光-位置传感器”在其他领域的应用作了有意的探讨。
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