《先进制造技术之——IC&MEMS制造技术及其发展趋势(续前)》PDF+DOC
作者:王志越
单位:中国电子科技集团第四十五研究所
出版:《电子工业专用设备》2003年第01期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDGZS2003010060
DOC编号:DOCDGZS2003010069
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《微电子机械系统计算机辅助设计》PDF+DOC1999年第10期 黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇
《下世纪初微电子机械系统的发展》PDF+DOC1997年第02期 李栓庆
《智能结构》PDF+DOC1997年第01期 F.Yalcinkaya,E.T.Powner
《微加工技术——制造业中的一场革命》PDF+DOC 戈云
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4 IC制造技术的未来趋势4.1工艺技术的发展趋势 表1给出了1999-2010年半导体制造技术发展的主要特征参数,这一快速发展的技术数据符合
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