作者：张西慧,梁春广 单位：河北工业大学 出版：《河北工业大学学报》2003年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHBGB2003050210 DOC编号：DOCHBGB2003050219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 概述了微机电系统(MEMS)的发展史，综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术，微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微执行器和专用MEMS集成系统等4方面的典型器件和典型系统，介绍了微机电系统在当今社会各个领域的广泛应用。

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