作者：陈长琦,叶进星,朱武 单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所 出版：《真空》2003年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKZK2003050090 DOC编号：DOCZKZK2003050099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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