作者：康明才,吴军基,黄锦安 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003100080 DOC编号：DOCBDTQ2003100089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《论微电子机械系统MEMS》PDF+DOC2004年第03期 鄢云 《MEMS器件的计算机辅助设计与模拟》PDF+DOC2001年第04期 孙克豪,钱劲,张立宪,余同希,赵亚溥 《微机械薄膜的设计和制造》PDF+DOC1999年第03期 李立杰 《微电子机械系统》PDF+DOC1995年第10期 王跃林,苏以撒,王文 《MEMS传感器性能提高相关技术研究》PDF+DOC2003年第01期 黄树森,李昕欣,王跃林,鲍敏杭 《我国传感器产业化发展的现状、机遇和前景》PDF+DOC2002年第10期 陈克铭 《微电子机械系统(MEMS)中的铁电器件》PDF+DOC2002年第S1期 刘如净,张之圣,胡明 《MEMS技术的现状和发展趋势》PDF+DOC2001年第01期 刘光辉,亢春梅 《MEMS传感器标准质量评定方法探讨》PDF+DOC2010年第06期 陈勤,曹赞,李艳梅 《MEMS传感器在汽车中的应用及发展》PDF+DOC2008年第03期 刘成刚

    • 以电力系统保护为背景，分析了微电子机械系统(MEMS)的发展使电气设备实现小型化、智能化的可能性；论述了微电器应具备的特征；讨论了微电气设备的特点。

    📙 相关资料

    1. 《论微电子机械系统MEMS》PDF+DOC 简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ，并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ，执行器等作了介绍与分析 ，提出了微系统之间要研究的问题 ；探讨了微电子机械系统的发展应用前景...
    2. 《MEMS器件的计算机辅助设计与模拟》PDF+DOC 概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程 ，分析了MEMSCAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题 ，讨论了目前经常采用的各种模拟系统的模拟形式和应用范围。并结合静电微马达与微米 纳米镊子实例 ，分析了模块化的CAD软件结构形式以及所用MEMS材料的数据库建立和应用连接 ，所提出......
    3. 《微机械薄膜的设计和制造》PDF+DOC 介绍了微机械薄膜和各向异性刻蚀的理论和特点，叙述了微机械薄膜的设计方法和试验结果。...
    4. 《微电子机械系统》PDF+DOC 本文对国外微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的研究现况作了评述。介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。...
    5. 《MEMS传感器性能提高相关技术研究》PDF+DOC 在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ，提出了MEMS传感器技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构、制作工艺和器件工作原理等具体措施对提高器件性能的作用...
    6. 《我国传感器产业化发展的现状、机遇和前景》PDF+DOC 本文就我国传感器产业化发展的现状、机遇和前景予以正面评述，从而增强信心，促进发展，推动我国传感器产业化进程。...
    7. 《微电子机械系统(MEMS)中的铁电器件》PDF+DOC 提出了一种将铁电材料与 MEMS集成的新趋势 ，并介绍了几种在这种趋势下应运而生的最新的微传感器和微执行器...
    8. 《MEMS技术的现状和发展趋势》PDF+DOC MEMS技术是一门新兴的技术 ，近年来 ，越来越受到世界各国的重视。主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势...
    9. 《MEMS传感器标准质量评定方法探讨》PDF+DOC 随着MEMS技术的发展，MEMS传感器的应用越来越广泛，传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。针对MEMS传感器特点，研究了标准质量评定方法，在电子元器件质量评定方法基础上，提出了我国MEMS传感器的质量评定控制建议。...
    10. 《MEMS传感器在汽车中的应用及发展》PDF+DOC 介绍汽车MEMS(微电子机械系统)传感器的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原理和结构，同时对该领域的产业化也进行了探讨。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。