《一种新型晶片自动定位方法》PDF+DOC
作者:王学军,张志军
单位:中国电子科技集团第四十五研究所
出版:《电子工业专用设备》2003年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDGZS2003020110
DOC编号:DOCDGZS2003020119
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阐述一种新型的硅片自动定位方法,并介绍了其特点和具体的实现方法。此方法可适应不同规格晶片的定位要求,实用性强。
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