《用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性》PDF+DOC
作者:朱德忠,张荣海,顾毓沁,郝京阳
单位:中国工程热物理学会;中国科学院工程热物理研究所
出版:《工程热物理学报》2003年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGCRB2003040400
DOC编号:DOCGCRB2003040409
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微电子机械系统(MEMS)的很多器件均凭借热工作原理,在其设计、性能评估中都需要了解热特性,特别是温度分布的动静态特性。本文用显微红外热成像技术测试分析了气体传感器微热板、微机械热对流加速度计的微加热器、热驱动微热泵芯片的温度分布特性及微辐射热计的热阻特性。在测试中考虑了对象的有效发射率等影响测量精度的系统因素。
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