作者:朱德忠,张荣海,顾毓沁,郝京阳 单位:中国工程热物理学会;中国科学院工程热物理研究所 出版:《工程热物理学报》2003年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGCRB2003040400 DOC编号:DOCGCRB2003040409 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS在惯性测量中的应用》PDF+DOC2001年第07期 李志信,罗小兵,过增元 《国内外MEMS器件现状及发展趋势》PDF+DOC2002年第04期 童志义,赵晓东 《MEMS器件及其在生物医学上的应用》PDF+DOC2011年第08期 杨永生 《一种MEMS加速度计的温度误差补偿方法》PDF+DOC2016年第01期 郝嵘,高国伟,潘宏生,何刚,马超 《ADI专注MEMS 30年,超低噪声、超低功耗系列MEMS加速度计产品面市》PDF+DOC2017年第05期 曹小娜 《一种改进的双螺旋结构MEMS加热器的设计和制造(英文)》PDF+DOC2019年第01期 田姣姣,尤敏敏,林祖德,白毅韦,战光辉,刘景全 《硅微机械惯性传感器技术及其应用》PDF+DOC2005年第01期 俞瑛 《集成化MEMS工艺设计技术的研究》PDF+DOC2004年第03期 张海霞,郭辉,张大成,徐嘉佳,郝一龙 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠 《基于MEMS技术的微惯性传感器及在汽车上的应用》PDF+DOC2006年第02期 闫冬,管欣,高振海
  • 微电子机械系统(MEMS)的很多器件均凭借热工作原理,在其设计、性能评估中都需要了解热特性,特别是温度分布的动静态特性。本文用显微红外热成像技术测试分析了气体传感器微热板、微机械热对流加速度计的微加热器、热驱动微热泵芯片的温度分布特性及微辐射热计的热阻特性。在测试中考虑了对象的有效发射率等影响测量精度的系统因素。

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