作者：王晓东,常城,宋洪侠 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2003年第09期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2003090030 DOC编号：DOCCGQJ2003090039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 随着微技术的发展，对微观结构的精确测量变得越来越重要。对能够用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术———扫描隧道显微术(STM)、扫描光学近场显微术(SNOM)和原子力显微术(AFM)进行了比较详细的分析和介绍。

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