《高分辨率平面测试仪的研制》PDF+DOC
作者:覃胜,刘晓明,查晓辉
单位:重庆大学
出版:《重庆大学学报》2003年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFFIVE2003030190
DOC编号:DOCFIVE2003030199
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在实际应用中 ,平面测试仪主要用于工件的微米级测试 ,从而检验工件是否合格。高分辨率和高稳定度是平面测试仪研制的两大关键技术。采用分辨率扩展的方法可以提高分辨率 ;同时利用单片机和复杂可编程逻辑器件 (CPLD)设计产生高稳定度的信号源 ,提高了系统的稳定度。内容包括工作原理 ,测试步骤和硬件设计 ,并介绍了提高精度的措施。主要由位移传感器 ,高稳定度信号源 ,单片机 ,信号处理单元四部分组成 ,具有高稳定度 ,高分辨率 ,低成本 ,操作简便的特点 ,目前已在重庆爱拓利检测仪表有限公司正式投入使用
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