作者：洪永强,蒋红霞 单位：中国电子科技集团公司第二研究所 出版：《电子工艺技术》2003年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZGY2003050010 DOC编号：DOCDZGY2003050019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微电子机械系统计算机辅助设计》PDF+DOC1999年第10期 黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇 《体微加工技术在MEMS中的应用》PDF+DOC2005年第03期 林日乐,谢佳维,蔡萍,翁邦英,董宏奎,赵建华,王瑞,张巧云 《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC2004年第07期 余丹铭,梁利华,许杨剑 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强 《微机械加工技术与微传感器》PDF+DOC2001年第05期 虞承端 《微电子机械系统/微光学电子机械系统的特性及应用》PDF+DOC2001年第04期 李萍 《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润 《微电子机械技术的现状与发展》PDF+DOC1997年第07期 赵志诚 《微电子机械系统技术应用研究》PDF+DOC2003年第07期 闫利文

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