作者：钟莹,李醒飞,张国雄 单位：天津大学 出版：《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》2003年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFTJDX2003040170 DOC编号：DOCTJDX2003040179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 谐振式硅微机械加速度计是新型高精度的微机电系统传感器.作者选用双端固定音叉作为谐振器，设计了一种硅微谐振式加速度计.设计中，使用了有限元分析软件进行了大量辅助分析，对传感器的工作情况进行了仿真.通过模拟和计算，预先估算出谐振器固有频率、应力分布情况以及传感器基本性能参数，这对传感器工艺流程设计及结构改进具有重要意义.有限元分析结果显示，传感器的灵敏度大约为2Hz/g。

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