作者：闻飞纳,李伟华,戎华 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003Z10230 DOC编号：DOCBDTQ2003Z10239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对能代表MEMS器件特征的悬臂梁结构 ，采用了SPICE中标准多项式受控源的形式建立悬臂梁的多模态小信号等效电路宏模型。在外力的作用下 ，用SPICE软件对此悬臂梁宏模型和外加电路进行了系统级的模拟 ，得到分布参数的力传感器的输出电压幅频特性曲线 ；最后采用COVENTORWARE软件进行了模型的各个模态的谐振频率和相关曲线的验证。

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