《传感器8in.Al-Ge晶圆级键合封装技术实现产业化》PDF+DOC
作者:
单位:北京信息科技大学
出版:《传感器世界》2014年第12期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGSJ2014120090
DOC编号:DOCCGSJ2014120099
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近日,中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心晶圆键合联合实验室在传感器晶圆级键合封装技术研发领域取得新进展,其针对三轴加速度传感器所开发的8in.Al-Ge共晶圆片级封装技术(WLP)以及配套的减薄和划片技术已通过苏州明皜传感科技有限公司的质量体系考核,采用该系列技术的T4型三轴加速度产品已上市销售。MEMS器件与传统IC器件相比,往往具有脆弱的可动结构,因此需要在MEMS器件划片与测试前将其保护起来。WLP技术在大大降低器件尺寸与成本的同时,还可有效地提高器件生产优良率与可靠性,因此针对MEMS器件的WLP技术已成为科技界与工业
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