作者：羽冬 单位：中国电子科技集团公司第五十五研究所 出版：《》 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDXX2003010920 DOC编号：DOCBDXX2003010929 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 传统的 MEMS 器件主要用于汽车安全气囊中的加速计、血压中的压力传感器和打印机中的喷墨嘴。随着 MEMS 器件成本的降低和额定灵敏度的提高，它开始步入消费类电子市场。如最近 Delphi 公司推出 Intellek 低值线性加速计，它可用于汽车、消费类电子、工业控制、医疗诊断和机器人技术等。该加速计采用标准小型封装，带宽范围大，可编程满

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