《响应三甲胺气体低阻TiO_2基气体传感器研制(英文)》PDF+DOC
作者:孙海波,王强,裴素华,孙振翠
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》2003年第12期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ2003120080
DOC编号:DOCBDTQ2003120089
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二氧化钛是一种良好的响应三甲胺气体的敏感材料,然而用它做成传感器后存在一个明显的缺点:阻值太高。文中采用不同气氛热退火和掺杂方法来提高TiO2基材料的电导率,从而制成一种新型低阻敏感元件,对三甲胺灵敏度高、选择性好。
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