作者:孙海波,王强,裴素华,孙振翠 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2003年第12期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2003120080 DOC编号:DOCBDTQ2003120089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 二氧化钛是一种良好的响应三甲胺气体的敏感材料,然而用它做成传感器后存在一个明显的缺点:阻值太高。文中采用不同气氛热退火和掺杂方法来提高TiO2基材料的电导率,从而制成一种新型低阻敏感元件,对三甲胺灵敏度高、选择性好。

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