《基于谐振原理的硅微机械加速度计》PDF+DOC
作者:贾玉斌,郝一龙,钟莹,张嵘
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》2003年第Z1期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ2003Z10800
DOC编号:DOCBDTQ2003Z10809
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基于力学振动原理 ,导出敏感梁类谐振振动的微分方程 ,给出了振梁型加速度计的设计原理。指出了加速度计谐振梁频率的相对变化量与梁的厚度无关 ;为避免输出非线性频率信号 ,频率的相对变化率和激励振动的振幅都不宜太大
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