作者：王小保,钱劲,张大成 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003Z11330 DOC编号：DOCBDTQ2003Z11339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 根据流体力学差压原理 ，采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器。测试结果表明 ，该传感器具有测量 0 .1～ 10L/min的气体流量的能力

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