作者：杨练根,谢峰,谢铁邦 单位：中国电子元件行业协会;中国电子学会元件分会 出版：《电子元器件应用》2003年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQJY2003120090 DOC编号：DOCYQJY2003120099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍一种基于聚焦探测法的数字伺服聚焦式位移传感器及其测量电路，该传感器可实现表面形貌的快速非接触测量，其测量范围为&#177；1mm，分辨率可达30nm。

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