作者：杨拥军,吝海锋,师谦,徐爱东 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003Z10940 DOC编号：DOCBDTQ2003Z10949 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种新型的微机械加速度计———热对流加速度计的工作原理及加工制造工艺。由于加速度计由单晶硅腔体、加热器和两只在加热器两侧并与加热器等距的温度传感器构成 ，其本身没有活动部件 ，因此这种加速度计的抗冲击能力几乎达到材料本身的强度。本文通过实验的方法验证了这种加速度计能适应各种恶劣环境 ，为器件的实用化奠定了基础

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