作者：刘危,解旭辉,李圣怡 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2003年第05期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2003050010 DOC编号：DOCGXJM2003050019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 对微机械惯性传感器—微加速度计和微陀螺的技术现状进行了评述。根据其不同的技术实现，诸如制造过程、工作原理、控制系统、接口技术等对其进行了分类描述。这些微传感器的用途很广，而且相对于其传统器件来说有低成本、小尺寸、低功耗等特点，正在全世界范围内被广泛研究。最后，对微机械传感器领域的一些新的进展进行了讨论，并提出了展望。

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