作者:王永录,李兴凯,单光宝 单位:中国电子元件行业协会;中国电子学会元件分会 出版:《电子元器件应用》2003年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQJY2003040060 DOC编号:DOCYQJY2003040069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 介绍微型硅加速度传感器的研制概况,阐述微型硅电容式加速度传感器的工作原理、制作工艺技术,并对封装后的测试结果进行分析与探讨。

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