作者：张兆华,岳瑞峰,刘理天 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2003年第S2期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2003S20950 DOC编号：DOCYQXB2003S20959 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了解决传感器的数字化，提出了一种新的环振式数字压力传感器，它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件，采用混频器作为片内的信号处理单元，实现环形振荡器的频率相减。该传感器的输出量为频率信号，具有准数字输出、灵敏度高、温度系数低以及制作工艺简单等特点。样品的灵敏度为1.52kHz/kPa。

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