作者：黄朋生,任天令,楼其伟,刘建设,刘理天 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2003年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2003050090 DOC编号：DOCYDSG2003050099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种基于MEMS的单片三维压电薄膜加速度传感器，传感器采用单一质量块和四方梁的高度对称结构。对传感器结构进行理论分析和计算，研究了传感器设计中几个因素间的相互制约关系。用有限元软件ANSYS进行了不同加速度条件下传感器的静态和模态分析。模拟结果表明传感器能够同时独立测出X、Y、Z三个方向的加速度，其灵敏度分别为2.76&#215；10~(-3)V&#183；s~2/m、2.76&#215；10~(-3)V&#183；s~2/m、2.96&#215；10~(-3)V&#183；s~2/m，并且横向灵敏度几乎为零。

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