作者：陈光焱,苏伟,何晓平 单位：中国工程物理研究院电子工程研究所 出版：《太赫兹科学与电子信息学报》2003年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXXYD2003010120 DOC编号：DOCXXYD2003010129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高g_n值悬臂梁式硅微加速度传感器的结构设计》PDF+DOC2000年第06期 席占稳,赖百坛 《降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法》PDF+DOC1995年第01期 费龙,钟先信,温志渝,刘桂雄,高扬 《硅微加速度传感器的现状及研究方向》PDF+DOC1995年第05期 费龙,钟先信,温志渝,高扬 《压阻式新型矢量水听器设计》PDF+DOC2006年第05期 陈丽洁,杨士莪 《高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析》PDF+DOC2002年第04期 宋萍,李科杰,石庚辰,卢四华 《一种低横向效应的压阻式加速度传感器设计》PDF+DOC2018年第08期 赵思晗,石云波,赵永祺,孙亚楠,任建军,李飞 《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC2000年第03期 朱目成 《低g值硅压阻式加速度传感器的设计与分析》PDF+DOC1999年第01期 朱目成,夏季,马德毅,刘强,孟念湘,徐培君 《硅微加速度传感器过载能力的研究》PDF+DOC1996年第04期 陈宏,沈绍群,鲍敏杭 《压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真》PDF+DOC2003年第S1期 隋丽,石庚辰

    • 采用有限元方法，针对硅微加速度传感器的对称梁岛结构进行了力学特性分析，通过分析得出了该结构的尺寸对其位移量、谐振频率及模态振型的影响规律，为此类加速度传感器的设计提供参考。

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